Cinco problemas comunes de las bombas de vacío en la fabricación de semiconductores y cómo resolverlos En el mundo ultrapreciso de la fabricación de semiconductores, los sistemas de vacío son los héroes anónimos. Crean y mantienen los entornos prístinos necesarios para procesos críticos como la deposición química de vapor (CVD), el grabado y la implantación de iones. Sin embargo, cuando una bomba de vacío falla o tiene un rendimiento deficiente, no solo provoca un retraso menor; puede provocar una pérdida catastrófica de rendimiento, costosos tiempos de inactividad de las herramientas y eventos de contaminación que pongan en peligro lotes enteros de producción. Esta guía detalla los cinco problemas más comunes (y costosos) de las bombas de vacío en las plantas de fabricación de semiconductores (fabs). Exploraremos sus causas fundamentales, brindaremos soluciones viables y explicaremos cómo seleccionar la tecnología de bomba adecuada desde el principio es la estrategia preventiva más eficaz.
Leer Más